光學狹縫片蝕刻加工
發(fā)布日期:2022-05-12
狹縫片是一種應用于光譜儀器細微配件,光譜儀器分經典光譜儀和新型光譜儀兩大類。前者是建立空間色散原理上的儀器,后期是建立在調制原理上儀器。而狹縫片則是通過一對隔板在光通路上形成的縫隙,調節(jié)入射單色光的純度和強度,也直接影響分辨力。
狹縫片上狹縫的實際寬度以毫米表示,而光譜頻帶寬度,即出射狹縫的光譜寬度同樣是毫米表示。當出射狹縫的寬度是6mm,所指的狹縫射出的光6mm光譜帶寬。純單色光分光光度計能得到的單色光實際上具有一定波長范圍的譜帶。狹縫越寬,波長范圍越寬。對于單色光的純度,狹縫越窄越好,但光的強度越弱。故狹縫不能無限小。狹縫的最小寬度取決于探測器能夠準確測量的最小光能。狹縫片生產工藝分光化學蝕刻和激光切割。然而,普遍的精密儀器通常通過光化學蝕刻整版制作,窄縫片最小縫寬可實現(xiàn)0.05mm,蝕刻后,狹縫片黑化整個版本,然后批量拆下進行包裝和運輸。
激光切割縫寬也可以達到0.05mm,但切割狹縫會有激光燒結殘留,縫隙不夠細膩,精度要求低的光學儀器。狹縫片蝕刻加工相比于激光切割的工藝相比,即狹縫片蝕刻加工在追求高精度、微米級的公差上通過蝕刻工藝能夠達到理想的狀態(tài)。